多晶硅企业与硅烷?

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先简单介绍一下自己,某大型半导体公司研发工程师 首先从产业链的角度来看,目前全球范围内能够生产高纯度多晶硅的厂家并不多,除开少数几家企业做电子级多晶硅以外(主要是国内几家光伏级多晶硅厂和欧洲),能做大尺寸(13.56um以下)高纯多晶硅片的基本上就只有几家公司了,其中就有题主提到的通威股份。

在硅料环节,通威股份是毫无疑问的龙头,无论是产能规模还是产量都是第一,而且具有自己的特色——不需要使用氢氯酸作为原料,也不需要使用四氯化硅,而是采用新的工艺技术——流化床法来生产多晶硅,减少了对环境的污染。

另外需要注意的是,现在行业内所说的硅片大小通常以inch为单位,13.56为单晶硅片的直径单位,换算成mm就是12.7毫米,13.56/12.7=1.1095英寸/英寸,也就是1.11寸硅片。而一般业界所承认的单晶硅片尺寸是以美国材料测试协会(American Society for Testing Materials,简称ASTM)所制定的标准。 目前市面上大部分单晶硅片尺寸都为12.7*12.7毫米的正方形,也有一些企业会生产12.7*15.6毫米或者15.6*15.6毫米的小尺寸晶片,而大于13.56*13.56毫米的较大尺寸晶片就比较少见了。 通威股份除了拥有自己的多晶硅生产基地以外,还在内蒙古包头建有多晶硅切片工厂,可以生产13.56*13.25毫米的小尺寸薄片,也是目前业内唯一一家同时具备直拉单晶生产及切片能力的企业。

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多晶硅企业与硅烷特气企业各有侧重,硅烷特气主要用于扩散制备发射极。多晶硅提纯工艺与硅烷特气纯化工艺在原理上有相同之处,即都需要通过一系列的精馏提纯、还原等步骤完成硅料以及硅烷特气的进一步提纯。因此,从技术路线的角度看,多晶硅企业具备进入电子级硅烷特气领域的潜力。但由于光伏级多晶硅对于Fe、Ni、Al等金属元素的要求远低于电子级硅烷,因此光伏级多晶硅生产企业进入电子级硅烷领域需要针对Fe、Ni、Al等元素的去除等开展大量的工艺研发与验证。

目前,国内已经进入电子级多晶硅的生产企业包括协鑫集团的乐山协鑫和徐州协鑫,通威股份旗下的永祥股份、大全能源等企业也进行了较长时间的研发储备,并积极建设产能。电子级硅烷特气生产商包括宏电子、金宏气体、华特气体等企业。

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